
Mengapa kita sangat mementingkan ujian dielektrik pada lampu yang digunakan dalam proses pengeringan wafer
Lampu yang digunakan untuk proses pengeringan wafer menghasilkan haba yang sangat tinggi. Apabila lampu-lampu ini digunakan dalam peralatan semikonduktor berkualiti tinggi, reflektor yang terdapat pada lampu tersebut bukan sahaja berfungsi untuk memantulkan cahaya, tetapi juga merupakan komponen penting dalam litar elektrik.
Jika lapisan insulasi tersebut gagal berfungsi, maka kawalan peralatan akan rosak, atau yang lebih buruk lagi, keseluruhan wafer yang dihasilkan akan rosak. Itu merupakan situasi yang tidak diinginkan oleh sesiapa pun.
Mengapa kita perlu menguji setiap unit secara individu
Kita tidak menggunakan kaedah pensampelan secara rawak. Itu merupakan cara yang berisiko. Pensampelan mungkin akan melepaskan unit yang mempunyai retakan kecil atau elektrod yang kotor. Sebaliknya, kita akan menguji setiap lampu dan komponennya menggunakan ujian HiPot dan ujian rintangan isolasi. Setiap satu.
Cara untuk melakukannya adalah dengan memberikan voltan yang jauh lebih tinggi daripada voltan yang akan diterima oleh lampu tersebut dalam keadaan sebenar. Dengan cara ini, kita dapat mengesan kelemahan yang mungkin ada pada lampu tersebut. Jika ada kelemahan, kita ingin ia dikesan di bengkel kita sendiri, bukannya di bilik bersih di mana proses pengeluaran berlangsung. Kita juga ingin mengesan arus bocor yang boleh menyebabkan arka elektrik antara unsur pemanas dan badan lampu tersebut.
Menghadapi masalah haba
Lampu berkuasa tinggi menghasilkan haba yang sangat banyak dalam ruang yang sangat kecil. Bahan-bahan yang digunakan akan mengembang akibat haba tersebut. Jika lapisan insulasi tidak cukup kuat untuk menahan perubahan suhu tersebut, maka ia akan kehilangan kekuatannya. Kita menggunakan bahan-bahan berkualiti tinggi kerana ia dapat bertahan walaupun lampu beroperasi pada suhu yang sangat tinggi.
Sebuah petua: Pastikan sistem penggroundan peralatan anda stabil. Walaupun kita telah melakukan ujian, peralatan yang tidak dikground dengan baik akan menghasilkan “potensial terapung”. Lama-kelamaan, ini akan memberi tekanan yang berlebihan pada lapisan insulasi lampu tersebut.
Realiti pemakaian lampu tersebut
Lampu-lampu ini direka untuk dipasang secara tepat pada peralatan pengeringan wafer yang canggih. Toleransinya sangat ketat. Hampir tidak ada ruang antara zon panas dan rangka peralatan tersebut. Oleh sebab itu, kita memberi keutamaan kepada aspek keselamatan berbanding kelajuan semasa proses ujian. Ya, ia memerlukan masa yang lebih lama untuk menguji setiap unit. Namun, ini merupakan pertukaran yang berbaloi untuk mengelakkan gangguan operasi yang serius akibat litar pintas semasa proses pengeluaran.