Hentikan proses pemanasan alat-alat tersebut (dan mulailah memanaskan wafer sahaja)
Ketika anda memanaskan wafer, apa yang anda inginkan ialah tenaga tersebut digunakan sepenuhnya pada substrat tersebut sahaja. Anda tidak mahu tenaga tersebut tersebar ke tempat lain.
Masalah dengan lampu inframerah biasa ialah ia akan menyebarkan haba ke semua arah. Ini menyebabkan keadaan menjadi kacau. Dalam masa yang singkat, dinding dalaman peralatan yang mahal tersebut akan menjadi terlalu panas sehingga boleh membahayakan pengendali, atau lebih buruk lagi, merosakkan komponen-komponen sensitif yang telah dibeli dengan harga yang mahal.
Itulah sebabnya kita menggunakan kaedah pemanasan yang direka khusus untuk tujuan ini.
Bagaimana prinsip fiziknya berfungsi
Bayangkanlah lampu kuarsa biasa sebagai mentol lampu yang memancarkan cahaya ke seluruh arah. Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan reflektor dan lapisan khas yang berfungsi seperti corong. Reflektor ini akan membantu mengumpulkan tenaga inframerah tersebut menjadi sinar yang tertumpu tepat pada wafer. Oleh kerana sinarnya sempit, haba yang tersebar ke dinding bilik akan berkurangan. Dengan cara ini, wafer dapat dicapai suhu yang tepat, sementara badan peralatan tetap sejuk. Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk memanaskan wafer.
Mencari jarak yang “sempurna”
Anda tidak boleh meletakkan lampu berkuasa tinggi terus di atas permukaan wafer. Jika begitu, ia akan menyebabkan masalah termal yang serius. Ada keseimbangan yang perlu dipertahankan. Jika lampu terlalu dekat, kepadatan habanya akan terlalu tinggi sehingga penyangga lampu tidak dapat menahannya. Namun, jika lampu terlalu jauh, tenaga akan terbuang sia-sia dan kecekapan akan berkurangan.
Kita menentukan jarak yang sesuai dengan mengambil kira kuasa lampu dan sejauh mana wafer memantulkan cahaya tersebut. Jika lampu diletakkan lebih dekat, haba akan sampai dengan lebih cepat, tetapi ini akan memberi tekanan yang lebih besar pada sistem penyejukan. Anda perlu memutuskan sama ada ingin mendapatkan proses pemanasan yang cepat, atau memastikan peralatan tidak berada dalam tekanan termal yang berterusan.
Kompromi yang perlu dilakukan
Ini bukanlah penyelesaian yang mudah. Ada kompromi yang perlu dilakukan. Apabila sinar dipadatkan, kita perlu mengorbankan cara pemanasan yang “selamat” demi ketepatan. Jika alinhmenya salah walaupun sedikit saja, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas, sehingga suhu pada wafer menjadi tidak sekata.
Ini merupakan permainan yang memerlukan ketepatan yang tinggi. Oleh itu, para teknisi perlu sangat berhati-hati semasa memasang lampu tersebut. Tidak boleh ada getaran sama sekali. Jika lampu bergetar, proses pemanasan akan gagal. Sangat mudah, bukan?