Stop met het verspillen van warmte in uw wafer-systemen
Het probleem met standaard infraroodverwarmers is dat ze warmte verliezen. Een groot deel van de energie verdwijnt gewoon in het chassis, in plaats van dat deze wordt gebruikt voor het verwarmen van de wafer. In de halfgeleiderverwerking is dit soort verspilling een groot probleem.
Daarom gebruiken we reflectoren die zijn bedekt met goud. Het klinkt misschien luxueus, maar het doel is simpel: we willen dat elke watt energie rechtstreeks op de wafer terechtkomt, en niet op de wanden van de machine.
Waarom goud?
De meeste mensen gebruiken aluminium. Dat is natuurlijk goedkoop. Maar aluminium neemt te veel energie op in het lange golflengtestreepje van infraroodlicht. Goud is anders: het weerkaatst meer dan 98% van dat infraroodlicht.
Als we de ruimte waar de verwarming zich bevindt bedekken met goud, verdwijnen die ‘dode zones’ waar warmte normaal gesproken verloren gaat. De energie wordt dus gericht op de wafer. Het resultaat? U krijgt de gewenste oppervlaktetemperaturen, zonder dat u de vermogensvoorziening hoeft aan te passen.
De warmte op de juiste plek brengen
Bij het instellen van een waferverwarmer wilt u dat de warmte gelijkmatig verdeeld wordt. Gouden reflectoren zorgen ervoor dat de straalhoek smaller wordt. Hierdoor stijgt de temperatuur veel sneller, omdat de energie precies op het substraat wordt gericht. Bovendien blijft de rest van de machine koeler, waardoor er minder druk op de hardware komt.
Het nadeel
Goud is echter niet onverwoestbaar. Het gaat om een dunne laag. Als u werkt met corrosieve gassen of abrasieve deeltjes, kan deze laag beschadigen. Zodra de laag beschadigd is, neemt de reflectiviteit af en stijgen de energiekosten. U moet ervoor zorgen dat de luchtsluizen goed afgesloten zijn, zodat vuil niet binnendringt en het goud behouden blijft.
Praktische tips voor de werkplaats
Als u overstapt op goudcoateerde reflectoren, kunt u de vereiste vermogenssterkte verminderen, terwijl de productiviteit gewoon op peil blijft. Dit is gunstiger voor uw elektriciteitsverbruik.
En als u te maken hebt met een 300mm-wafer waarbij de verwarming niet gelijkmatig is, probeer dan niet alleen de vermogenssterkte van de lamp te verhogen. Dat werkt meestal niet. Het probleem ligt meestal in de geometrie van de reflectie. Gebruik dan een systeem met goudcoateerde reflectoren. Hierdoor wordt de thermische verdeling beter, en werkt alles efficiënter.