Op de productielijn is de prestatie van het fotorezistverwerkingsproces nauwkeurig te meten: deze wordt uitgedrukt in nanometers. Een verschil van 0,5°C kan al snel leiden tot problemen bij het beheer van de belangrijkste dimensies van de wafer. Dat betekent dat er veel wafer verloren gaan. De kwartsglasbescherming rondom de lampen zorgt er juist voor dat dit soort afwijkingen voorkomen.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid voor deze bescherming, omdat dit materiaal een stabiele transmissie van straling op kortegolflengten en middelgolflengten mogelijk maakt. Bovendien wordt het materiaal nauwelijks beschadigd door snelle temperatuurschommelingen. Hierdoor kan de warmteoverdracht op de wafer nauwkeurig worden gereguleerd, met een constante temperatuurverschuiving van ±0,1°C over het hele gebied waar de wafer wordt verwerkt. Hierdoor blijven de parameters van het verwerkingsproces consistent, lot na lot. In schone ruimtes van klasse 1–100 is het materiaal en de constructie zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen. Hierdoor blijft het aantal defecten op de wafer minimaal en valt dit niet terug in de productierapporten.
Waarom dit werkt in de lithografie: In de lithografie hangt alles af van het beheer van de thermische omstandigheden. De bescherming zorgt ervoor dat de uitgangssnelheid van de lampen constant blijft, dat er geen hete plekken ontstaan en dat er geen bijproducten op de lampen terechtkomen. Hierdoor wordt dezelfde energie gebruikt voor het verwerkingsproces. Het resultaat is minder herwerkingen, minder afval en minder onderbrekingen in de productie. Bovendien wordt er geen energie verspild, omdat de warmte op de juiste plek blijft. Hierdoor heeft de lamp een langere levensduur en kunnen de vervangingsintervallen beter worden bepaald.
Wat je moet letten op: De installatie is eenvoudig, maar de precisie van het aligneren is cruciaal. De bescherming moet precies op de juiste plaats worden geplaatst, zonder enige vervorming. Zelfs een klein verschil kan leidden tot problemen met de uniformiteit van de warmteoverdracht. Het bereik van de bescherming is groot, maar deze is niet bedoeld om rechtstreeks in contact te komen met oplossingen tijdens het schoonmaken. Houd je aan de aanbevolen droogreinigingsprocedure en zorg voor regelmatige onderhoudswerkzaamheden. Op deze manier blijven de prestaties optimaal en voldoen de schone ruimtes aan alle vereisten.