
Waarom we gefascineerd zijn door het testen van de isolatie bij het drogen van waferbladen
De lampen die worden gebruikt voor het drogen van waferbladen genereren enorme hoeveelheden hitte. Wanneer deze lampen worden gebruikt in high-end halfgeleiderapparatuur, doet de reflector niet alleen dienst als lichtbakker – hij vormt ook een belangrijk onderdeel van de elektrische circuiten.
Wat gebeurt er als de isolatie faalt? Dan kan het zo zijn dat de controller kapotgaat, of erger nog: dat er een hele batch waferbladen verloren gaat. Dat is een nachtmerrie die niemand wil meemaken.
Waarom we elke lamp controleren
We doen geen ‘batchsampling’. Dat is gewoon gokken. Door sampling kunnen we misschien wel een lamp met een kleine, onzichtbare barst in het kwarts- of elektrodenmateriaal over het hoofd zien. In plaats daarvan laten we elke lamp en reflector zorgvuldig controleren op isolatieresistentie. Echt iedereen.
Hoe werkt dit? We sturen een veel hogere spanning op de lamp dan wat deze in werkelijkheid zal krijgen. Op deze manier proberen we te bepalen of er zwakke punten zijn. Als er een verborgen zwakte is, willen we dat deze zich hier in onze werkplaats manifesteert, en niet in jullie schone productieruimte. We zoeken naar lekstromen die kunnen leiden tot kortsluitingen tussen de verwarmingselementen en de behuizing.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens genereren ontzettende hoeveelheden hitte in een zeer kleine ruimte. Materialen zetten uit en bewegen zich. Als de isolatie niet bestand is tegen deze schommelingen, verliest ze haar sterkte. We gebruiken materialen van hoge zuiverheid, omdat deze de hitte goed kunnen weerstaan.
Een tip: zorg ervoor dat de gronding van het apparaat stevig is. Zelfs met al onze tests kan een slecht geground apparaat ‘vlotterende potentialen’ veroorzaken. Dit leidt op den duur tot onnodige spanningen op de isolatie van de lamp.
De realiteit van de compatibiliteit
Deze lampen zijn ontworpen om rechtstreeks in de precisiedroogapparaten te worden geplaatst. De toleranties zijn zeer streng. Er is nauwelijks ruimte tussen de hete zone en de behuizing van het apparaat.
Daarom geven we bij onze kwaliteitscontroles de voorkeur aan veiligheid boven snelheid. Ja, het duurt langer om elke lamp te controleren. Maar dit is een acceptabele prijs om catastrofale stilstand tijdens het productieproces te voorkomen.