Op de productielijn is het gebied waar het materiaal wordt verhit cruciaal voor de kwaliteit van het eindproduct. Een verschil van 2°C tijdens het verhitten kan ertoe leiden dat de belangrijke dimensies van het materiaal veranderen. Bovendien kan één enkele deeltje dat vrijkomt tijdens het verhitten schade toebrengen aan het materiaal. We hebben een speciaal systeem ontworpen om deze variabiliteit te beperken.
Wat technisch gezien belangrijk is: We houden de thermische uniformiteit op het niveau van ±0,1°C over het hele oppervlak van het materiaal. Hierdoor krijgt elk gedeelte van het materiaal dezelfde warmtestroming. Het systeem kan worden gebruikt in schoonruimtes van klasse 1–100, zonder dat dit tot een toename van het aantal deeltjes leidt. Op het punt waar het materiaal wordt verhecht, wordt geen enkel deeltje gegenereerd. De temperaturen blijven binnen ±0,2°C per verhittingscyclus, waardoor de lithografieproces stabiel blijft. Het systeem maakt gebruik van kortegolfinfraroodstraling voor een snelle en nauwkeurige temperatuurstijging. De hete zone is zo ontworpen dat er weinig gassen vrijkomen, zodat de integriteit van het materiaal behouden blijft.
Dit werkt goed in de lithografie, omdat het zachte verhitten nodig is om oplosmiddelen te verwijderen en de spanning in het materiaal te beperken. Het harde verhitten zorgt weer voor een goede hechting en weerstand tegen corrosie. Goede controle op beide aspecten zorgt voor stabiele resultaten, minder defecten en een hogere opbrengst per cyclus. Er zijn ook minder onderhoudskosten, want onze apparaten kunnen meer dan 5.000 uur draaien zonder dat de productie meer dan 5% afneemt. Het voordeel is dat de breedte van het product constant blijft en er minder afval ontstaat.
Enkele praktische punten:
Tijdens de installatie moet de thermische profilering worden aangepast aan de geometrie van de specifieke coating- of trackchamber. Ook moet worden gecontroleerd of de afvoer en koelingssystemen compatibel zijn. Er zal een korte inrichtingsperiode nodig zijn om de juiste verhittingsparameters in te stellen. Eenmaal ingesteld, kan het systeem 24/7 werken. Het is belangrijk om de luchtcirculatie in de schoonruimte stabiel te houden, want schommelingen in de luchtvloeiing kunnen leiden tot kleine afwijkingen aan de randen van het materiaal.