На линии длиной 300 мм даже небольшое смещение температуры в полградуса Цельсия во время процесса прогрева фотополимера может привести к смещению критических размеров и уничтожению всей партии изделий. Мы разработали нагреватель на основе углеродных нанотрубок, чтобы обеспечить стабильную температуру в течение всего процесса, без каких-либо отклонений.
Что имеет значение Нагреватель работает на основе углеродных нанотрубок, поэтому реагирует быстро и поддерживает стабильную температуру. Это позволяет добиться однородности температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Также достигается высокая степень воспроизводимости результатов процесса. Благодаря этому профили температурного режима остаются стабильными при производстве больших партий изделий.
Кроме того, такой нагреватель не выделяет практически никаких частиц, что позволяет использовать его в чистых помещениях классов 1–100. Материалы, используемые в конструкции нагревателя, способствуют минимизации выделения газов даже при постоянном использовании. В практическом смысле это означает меньше дефектов, более точный контроль размеров изделий и предсказуемый температурный режим.
Почему это важно в литографии В процессе литографии и обработки фотополимера температурный режим является ключевым фактором. Нагреватель помогает поддерживать оптимальные условия процесса, что позволяет сохранять правильные размеры линий, углы склонения стенок и толщину оставшегося слоя на пластине. Это помогает избежать выброса качественных пластин на свалку и необходимости их переработки.
Нагреватель может работать круглосуточно без перерывов, а данные, полученные в процессе эксплуатации, показывают отсутствие значимых отклонений в течение длительного времени. Это именно то, что необходимо для производства больших объемов изделий. Благодаря быстрой реакции нагревателя сокращается время его работы, что снижает затраты на производство одной пластины.
Что нужно сделать правильно Интеграция нагревателя в процесс производства не представляет сложности. Однако углеродные нанотрубки имеют строгие ограничения по температуре и скорости изменения температуры.Необходимо учитывать теплоемкость оборудования и настраивать контроллер так, чтобы достичь максимальной однородности температуры.
Необходимо провести короткий тестовый запуск, чтобы настроить параметры PID и проверить соответствие профиля температуры всем требованиям процесса.