На производственной линии именно на этапе нагрева определяется качество готовой продукции. Изменение температуры на 2°C во время процедуры мягкого или жесткого нагрева может привести к изменению критических размеров изделия. Один лишний частицек во время нагревания может повредить саму пластину. Мы разработали специальные устройства для нагрева пластин, чтобы устранить такую нестабильность.
Что имеет значение с технической точки зрения?
Мы поддерживаем однородность температуры на всей поверхности пластины на уровне ±0,1°C. Таким образом, каждая часть пластины получает одинаковое количество тепла. Устройство может работать в чистых помещениях класса 1–100 без увеличения количества частицек. На месте нагрева не образуется никаких частицек. Периодичность изменений температуры составляет ±0,2°C, что обеспечивает предсказуемость процесса литографии. Для быстрого и контролируемого нагрева используются инфракрасные элементы короткой длины волн. Зона нагрева сконструирована таким образом, чтобы минимизировать выделение газов, что сохраняет целостность фоторезиста.
Вот почему это работает в процессе литографии: процедура мягкого нагрева направлена на удаление растворителей и контроль напряжений в слое материала; процедура жесткого нагрева способствует улучшению адгезии материала и его устойчивости к эрозии. Строгий контроль за обеими процедурами приводит к стабильным параметрам изделия, снижению числа дефектов и повышению процента успешно изготовленных изделий. Это позволяет сократить время выполнения процесса, снизить расход энергии за счет эффективной передачи тепла, а также сократить количество простоев оборудования. Наши устройства работают более 5,000 часов с падением производительности менее чем на 5%. Результат — стабильный контроль толщины слоя материала и снижение количества бракованных изделий.
Несколько практических замечаний. При установке необходимо соответствовать тепловому профилю конкретной камеры для нанесения материала, а также убедиться в совместимости систем вентиляции и охлаждения. Ожидается короткий период настройки параметров нагрева. После настройки система может работать круглосуточно. Однако необходимо сохранять стабильность потока воздуха в чистой комнате — изменения в потоке воздуха могут привести к незначительным отклонениям на краях пластины.