Почему использование инфракрасных нагревателей в вакууме – лучший выбор для производства полупроводников без свинца
Когда люди говорят о необходимости использования материалов без свинца или экологичных технологий на производстве полупроводников, они обычно фокусируются на химических аспектах. Но если вы действительно работали на таких заводах, вы знаете, что настоящей проблемой является тепло.
Старомодные конвекционные печи сильно мешают процессу производства. Они потребляют слишком много энергии для нагрева большого объема воздуха. К тому же воздух служит средой для оседания пыли и частиц на поверхности полупроводниковых пластин. Мы решили избавиться от этой проблемы и использовать инфракрасные нагреватели в вакууме.
Отсутствие посредников
В вакуумной камере нет воздуха, который мог бы передавать тепло. Нет ни кондукции, ни конвекции – только чистое излучение. Инфракрасные лампы излучают электромагнитные волны, которые проходят прямо через подложку и воздействуют непосредственно на материал. Не нужно ждать, пока нагревательный элемент нагреет газ, который затем нагреет сам материал. Это происходит очень быстро. Время обработки сокращается, так как энергия не должна преодолевать слой воздуха перед тем, как выполнить свою функцию.
Соблюдение строгих стандартов
Сварочные составы и клеи без свинца требуют точного контроля температуры. Если температура отклоняется хотя бы немного, это может привести к окислению материала или его деформации. Это создает серьезные проблемы.
Мы решаем эту проблему, настраивая длину волны инфракрасного излучения так, чтобы она соответствовала тем спектрам, которые необходимы для процесса затвердевания материала. Это подобно замку и ключу – таким образом можно избежать превышения температуры. К тому же, в условиях вакуума можно отказаться от использования химических растворителей и стабилизаторов. Это чистый и безопасный процесс.
Инженерные нюансы
Но все не так просто. Высокоинтенсивные инфракрасные нагреватели выделяют огромное количество тепла. Если система охлаждения не справляется с этой задачей, возникают проблемы. Если система охлаждения выходит из строя, тепло может повредить вакуумные уплотнения или деформировать всю камеру. Нельзя просто подключить нагреватели и надеяться на лучшее – необходимо обеспечить эффективную систему охлаждения.
Чтобы сохранять стабильность температуры, мы рекомендуем использовать контроллер с закрытым циклом управления и пирометрами. Это позволяет поддерживать температуру поверхности пластин в пределах ±1°C. Таким образом можно спокойно спать, зная, что партия продукции не будет повреждена.