เครื่องทำความร้อนด้วยอินฟราเรดสำหรับการกำจัดก๊าซในแผ่นเวเฟอร์

ในห้องปฏิบัติการผลิตชิป แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็สามารถทำให้ความสม่ำเสมอของฟอโตรีซิสต์เสียหายได้...