ในห้องปฏิบัติการผลิตชิป แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็สามารถทำให้ความสม่ำเสมอของฟอโตรีซิสต์เสียหายได้ ส่งผลให้กระบวนการผลิตหยุดชะงัก และอัตราการผลิตก็ลดลง เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดมาเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนเหล่านี้ให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C โดยมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่รวดเร็ว เพื่อไม่ให้อุณหภูมิสูงเกินไปจนส่งผลกระทบต่อฟอโตรีซิสต์ ตัวเครื่องใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นเพื่อส่งพลังงานออกมาอย่างรวดเร็ว และห้องปฏิบัติการก็มีมาตรฐาน Cleanroom ระดับ 1–100 ซึ่งช่วยลดการเกิดอนุภาคในระหว่างการทำความร้อน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจึงอยู่ในเกณฑ์ที่ดีในแต่ละรอบการผลิต ทำให้คุณภาพของชิปไม่เปลี่ยนแปลงไปตามการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมหรือองค์ประกอบของวัสดุที่ใช้ในการผลิต
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะช่วยให้การทำความร้อนมีประสิทธิภาพมากขึ้น ทำให้สามารถควบคุมความหนาของชิปได้ดีขึ้น และลดจำนวนชิ้นงานที่ต้องทำใหม่ลง การตอบสนองของอินฟราเรดที่รวดเร็วจะช่วยลดเวลาการทำความร้อน ซึ่งจะช่วยลดเวลาการผลิตโดยรวมได้ ในขณะเดียวกันก็ยังช่วยกำจัดสารละลายออกไปได้อย่างสมบูรณ์ และควบคุมขนาดของจุดบนพื้นผิวชิปได้ดี การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกส่งออกมาตามความต้องการเท่านั้น ไม่ได้ถูกเก็บไว้ในรูปแบบของความร้อนสะสม อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยมีช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่แน่นอน ซึ่งจะช่วยลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดได้
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้
เครื่องทำความร้อนเหล่านี้สามารถติดตั้งได้อย่างง่ายดาย แต่ก็ต้องมีแรงดันไฟฟ้าที่มั่นคง และระบบระบายความร้อนที่เหมาะสมกับอัตราการทำงานที่กำหนดไว้ คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการตั้งค่าระบบให้เหมาะสมกับชิ้นงานที่ใช้ในการผลิต เมื่อตั้งค่าเสร็จแล้ว ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะอยู่ในเกณฑ์ที่ดี แม้ว่าจะมีการเปลี่ยนแปลงของปริมาณชิ้นงานที่ผลิตก็ตาม