300 mm’lik bir hat üzerinde, fotoresistin pişirilmesi sırasında yarım derece Celsius’luk bir sapma bile kritik boyutlarda bozulmalara neden olabilir ve tüm ürün partisini işe yaramaz hale getirebilir. İşlem sürecinde termal davranışların sabit kalmasını sağlamak için karbon nanotüp tabanlı bir ısıtıcı geliştirdik; böylece her seferinde aynı sonuçlar elde edilir.
Önemli olan şeyler
Isıtıcı, karbon nanotüp elemanları sayesinde hızlı tepki verir ve istikrarlı çalışır. Böylece yüzey genelinde ±0,1°C ile tutarlılık sağlanır. Ayrıca tekrarlanabilirlik açısından da aynı hassasiyet vardır. Bu sayede hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri tutarlı kalır.
Bu yapı neredeyse hiç parça üretmez; bu da onu 1–100 sınıfındaki temiz odalarda kullanılabilir hale getirir. Ayrıca malzemeler, sürekli pişirme işlemleri sırasında bile düşük gaz salınımı sağlayacak şekilde seçilmiştir. Günlük olarak bakıldığında bu, daha az kusur, daha iyi boyut kontrolü ve güvenilir bir termal performans anlamına gelir.
Litografide neden önemli?
Litografi ve fotoresist işlemlerinde termal profiller arka plana atılabilecek bir unsur değildir; işlemin kendisidir. Bu ısıtıcı, çizgi genişliği, yan duvar açıları ve kalan film kalınlığının belirlenen standartlarda kalmasını sağlar. Böylece iyi kalitedeki wafların atılması ve yeniden işlenmesi önlenir.
Isıtıcı 7/24 durmaksızın çalışır ve saha verileri uzun süreler boyunca herhangi bir sapma olmadığını gösterir. Bu da yüksek hacimli üretimler için gereklidir. Hızlı tepki verdiği için bekleme süreleri azalır ve her waft için olan işletme maliyetleri düşer.
Doğru yapılması gerekenler
Entegrasyon oldukça basittir, ancak karbon nanotüp elemanlarının belirli sıcaklık sınırları ve kontrollü ısı artış hızları vardır. Aletin termal özelliklerine uyum sağlamak ve tam tutarlılık elde etmek için kontrol cihazını ayarlamak gerekir.
PID ayarlarını doğru yapmak ve tüm işlem modlarında profilin uyumlu olduğundan emin olmak için kısa bir test run yapılmalıdır.