Neden wafer işleme sürecinde dielektrik testlerine bu kadar odaklanıyoruz?
Wafer işleme lambaları, oldukça yüksek sıcaklıklarla çalışır. Bu lambaları yüksek kaliteli yarı iletken cihazlarda kullandığımızda, reflektörler sadece ışığı yansıtmaktan daha fazlasını yapar; aynı zamanda elektriksel devrenin de önemli bir parçasıdır.
Eğer yalıtım sistemi bozulursa, kontrol cihazları zarar görür veya daha kötüsü, üretilen waferler boşa gider. Bu, kimsenin istemediği bir durumdur.
Neden her bir üniteyi test ediyoruz?
Biz “grup bazında örnek alma” yöntemini kullanmıyoruz. Bu, tam anlamıyla bir risktir. Örnek alma yöntemiyle, kuvarsın içindeki küçük çatlaklar veya kirli elektrotlar fark edilmeyebilir. Bunun yerine, her bir lamba ve reflektörü HiPot ve yalıtım direnci testlerinden geçiriyoruz. Her biri için…
İşleyiş şu şekildedir: Üniteye, gerçek kullanım koşullarından çok daha yüksek bir voltaj uygulanır. Aslında amacımız üniteyi bozmaktır. Eğer gizli bir zayıflık varsa, bunun üretim ortamında değil, bizim laboratuvarımızda tespit edilmesini istiyoruz. Ayrıca, ısıtma elemanı ile gövde arasında kaçak akımların oluşmasını engellemeye çalışıyoruz.
Yüksek sıcaklıklarla başa çıkma
Yüksek güçlü lambalar, çok küçük bir alanda inanılmaz miktarda ısı üretir. Malzemeler genişler, yer değiştirir. Eğer yalıtım sistemi bu değişikliklere dayanamazsa, gücünü kaybeder. Yüksek saflıkta malzemeler kullanıyoruz; çünkü lamba maksimum sıcaklıkta bile dayanabilir.
Bir ipucu: Şasinizin topraklamasının sağlam olduğundan emin olun. Testlerimize rağmen, zayıf topraklama olan makineler “yüzer potansiyeller” oluşturur. Zamanla bu durum, lambanın yalıtım sistemine gereksiz baskı uygular.
Uyum konusu
Bu lambalar, hassas işleme ekipmanlarına kolayca monte edilebilecek şekilde tasarlanmıştır. Toleranslar son derece düşüktür. Sıcak bölge ile ekipman çerçevesi arasında neredeyse hiç boşluk yoktur. Bu yüzden kalite kontrolünde hızdan ziyade güvenliği önceliklendiriyoruz. Evet, her bir üniteyi test etmek daha uzun sürüyor. Ancak bu, üretim sırasında meydana gelebilecek ciddi arızaları önlemek için kabul edilebilir bir bedeldir.