На лінії довжиною 300 мм достатньо лише півградусної зміни температури під час процесу висушування фотолужного шару, щоб це призвело до появи значних відхилень у критичних розмірах елементів, а отже, до зіпсування всієї партії продукції. Ми створили нагрівач на основі вуглецевих нанотрубок, щоб забезпечити стабільну температуру протягом усього процесу, без жодних винятків.
Що є важливим у цьому пристрої
Нагрівач працює на основі вуглецевих нанотрубок, тож він швидко реагує та забезпечує стабільну роботу. Це дозволяє досягти однорідності температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також гарної точності при повторних процедурах. Саме це забезпечує стабільність параметрів процесу в різних партіях продукції.
Конструкція пристрою не створює жодних частинок, що дозволяє використовувати його у класах чистоти від 1 до 100. Матеріали, з яких виготовлений пристрій, підбрані таким чином, щоб мінімізувати виділення газів навіть під час постійних циклів нагріву. У практичному плані це означає менше дефектів, кращий контроль над розмірами елементів та можливість передбачування температурних параметрів процесу.
Чому це важливо у літографії
У літографії та обробці фотолужних шарів температурний профіль є ключовим фактором – це сам процес. Цей нагрівач забезпечує стабільність параметрів процесу, що дозволяє зберігати правильні розміри елементів, кути їхніх стінок та товщину залишкового шару. Це дозволяє уникнути витрат на утилізацію якісних пластин.
Пристрій може працювати 24/7 без перерв, а дані з польових випробувань показують відсутність значних відхилень протягом тривалого часу. Це саме те, що потрібно для великомасштабного виробництва. Завдяки швидкій реакції пристрою скорочується час простою, а вартість обробки однієї пластини знижується.
Що потрібно зробити правильно
Інтеграція пристрою є простою, але вуглецеві нанотрубки мають суворі температурні обмеження та потребують контрольованої швидкості нагріву. Необхідно налаштувати параметри пристрою так, щоб досягти максимальної однорідності температури.
Необхідно також провести коротку перевірку пристрою для налаштування параметрів PID та переконання в правильності профілю температури у всіх режимах роботи.