Як запобігти руйнуванню вашої чистої кімнати класу 100 озоном
Чи траплялося з вами, що сигналізація про наявність озону спрацьовує без якоїсь очевидної причини? Це справжній кошмар.
Більшість стандартних інфрачервоних ламп спричиняють проблеми: вони ініціюють хімічну реакцію в повітрі, внаслідок якої утворюється озон ($\text{O}_3$). У середовищі класу 100 це призводить до катастрофи. Озон пошкоджує чутливі полімери та порушує процес допінгу напівпровідників. Це, по суті, невидимий забруднювач, який може зруйнувати всі ваші зусилля.
Ми знайшли спосіб цього запобігти. Використовуючи синтетичний кварц високої чистоти та фільтруючи певні довжини хвиль, ми зберігаємо тепло, але позбавляємося озону.
Наука тут досить проста.
Озон утворюється, коли короткохвильове УФ-випромінювання (довжина хвилі менше 240 нм) потрапляє на молекули кисню. Щоб уникнути цієї реакції, ми розробили лампи, які працюють у середньо-довгохвильовому діапазоні інфрачервоного світла.
Ми використовуємо кварцеві трубки, які слугують захистом, блокуючи випромінювання у цьому діапазоні. Ви все одно отримуєте необхідну кількість теплової енергії для процесів обробки чи сушіння, але без наслідків, пов’язаних із фотохімічними реакціями.
Усе залежить від матеріалів.
Ми використовуємо кварц з майже нульовим вмістом домішок. Чому? Через процес „вивільнення газів“. Коли дешева лампа доходить до робочої температури, вона може виділяти утримувані гази. Якщо ви працюєте в умовах відсутності пилу, ви не можете дозволити собі наявність частинок на поверхні корпусу лампи.
Щоб уникнути цього, ми поліруємо кварц. Це допомагає позбутися дрібних поверхневих тріщин, тож все залишається чистим.
Одне зауваження щодо конструкції: ці лампи мають компактні розміри, тож їх можна легко встановити в існуючу конструкцію. Вони здатні генерувати багато тепла в малому просторі. Тож необхідно переконатися, що вентилятори для охолодження справні. Якщо потік повітря занадто слабкий, лампи можуть перегрітися, а це призведе до пошкодження елементів конструкції.
Використання цих ламп.
Це, по суті, замінники для стандартних інфрачервоних нагрівачів – чи то для обробки пластин, чи для стерилізації медичного обладнання. Ви все одно отримуєте швидке нагрівання, але сенсори наявності озону залишаються спокійними.
Ми розробили ці лампи так, щоб вони могли працювати 24/7. Є лише одна умова: необхідно підтримувати стабільну напругу. Різкі коливання напруги можуть швидко пошкодити лампи. Якщо напруга буде стабільною, лампи будуть продовжувати працювати без проблем.