وقت ضائع کرنا بند کریں: ویفروں کی حرارت دینے کے لئے IR حرارت کیوں بہتر ہے؟
اگر آپ نے کبھی سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ فیکٹری میں وقت گزارا ہے، تو آپ کو انتظار کرنے کی تکلیف کا اندازہ ہوگا۔ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں، گرم ہوا کے استعمال کے بجائے درستگی کے لحاظ سے IR حرارت کا استعمال کیا جارہا ہے۔
دراصل، اہم بات یہ ہے کہ حرارت ویفر تک کس طرح پہنچتی ہے۔
فورسڈ ایر دراصل ایک کنویکشن اوون ہے؛ آپ کو چیمبر میں موجود ہر چوتھائی انچ کی ہوا کو گرم کرنا پڑتا ہے، تب جاکر ویفر کو حرارت محسوس ہوتی ہے۔ لیکن IR حرارت الگ قسم کی ہے؛ یہ ریڈیانٹ انرجی ہے، جو براہِ راست ویفر کی سطح پر پہنچتی ہے۔
“ڈیڈ ٹائم” کی مشکل
مسئلہ یہ ہے کہ ہوا حرارت کو منتقل کرنے میں بہت ناکام ہے۔ جب آپ کنویکشن کا استعمال کرتے ہیں، تو آپ کو حرارت کے پہنچنے کا انتظار کرنا پڑتا ہے… یہ وقت ضائع کرنے کے مترادف ہے۔
IR سینسرز اور ایمیٹرز اس مشکل کو دور کرتے ہیں؛ انرجی روشنی کی رفتار سے منتقل ہوتی ہے، لہذا آپ درجہ حرارت کو چند سیکنڈوں میں بڑھا یا کم کر سکتے ہیں۔ جب آپ روزانہ ہزاروں ویفروں کو پروسس کرتے ہیں، تو 30 سیکنڈ کی بچت بہت بڑا فائدہ ہے۔
درجہ حرارت کو درست طریقے سے جاننا
ہم IR سینسرز کا استعمال کرکے ویفر کی سطح کے درجہ حرارت کو حقیقی وقت میں معلوم کرتے ہیں۔
ثرموکپلز کے بارے میں سوچیں… انہیں ویفر کو چھونا پڑتا ہے، جس سے ویفر آلودہ ہو سکتا ہے۔ لیکن IR سینسرز کو کسی چیز کو چھونے کی ضرورت نہیں ہے؛ آپ دور سے ہی ویفر کی سطح کا درجہ حرارت جان سکتے ہیں۔
اس سے کنٹرول سسٹم بہتر ہو جاتا ہے… اگر کوئی سینسر کسی سرد جگہ کا پتہ لگاتا ہے، تو IR لیمپ فوراً اسے درست کر دیتا ہے۔ آپ کو ایسی صورتحال کا سامنا نہیں کرنا پڑتا، جہاں ہیٹر مسلسل کام کرتا رہتا ہے، کیوں کہ وہ ہوا کے درجہ حرارت کو ناپتا ہے، نہ کہ ویفر کے درجہ حرارت کو۔
خامیاں
لیکن IR حرارت بھی جادو نہیں ہے… یہ سمتی ہے۔ اگر کوئی چیز ویفر کو ڈھک لے، یا لیمپ تھوڑا سا ٹیڑھا ہو، تو حرارت یکساں طور پر نہیں پہنچ پاتی۔ آپ صرف ہوا کے ذریعے حرارت پہنچانے کی کوشش نہیں کر سکتے… آپ کو لیمپوں کی جگہ اور سینسرز کی ترتیب کے بارے میں بہت احتیاط برتنی پڑتی ہے، تاکہ حرارت پورے ویفر پر یکساں طور پر پہنچ سکے۔
اس کے لئے کچھ منصوبہ بندی کی ضرورت ہے، لیکن اس کی رفتار واقعی قابلِ قدر ہے۔