Trong quy trình sản xuất, hiệu suất của lớp phủ cảm quang trong quá trình nung được đánh giá dựa trên đơn vị nanomet. Chỉ một sự thay đổi nhiệt độ 0,5°C cũng có thể gây ra những sai lệch lớn trong việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer, và điều đó đồng nghĩa với việc mất đi rất nhiều wafer. Lớp vỏ bảo vệ bằng thủy tinh thạch anh được lắp trên các bóng đèn trong nhà máy chính là để ngăn chặn những sai lệch này ngay từ đầu.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi chọn thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao để làm vật liệu bảo vệ, vì loại vật liệu này có khả năng truyền ánh sáng ổn định trong dải bước sóng ngắn và trung bình, đồng thời không bị biến dạng khi chịu tác động của nhiệt độ cao. Điều này giúp đảm bảo việc gia nhiệt wafer diễn ra một cách đồng đều, với độ chính xác ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Nhờ đó, quy trình nung luôn diễn ra ổn định từ lô này sang lô khác. Trong các phòng sạch loại 1–100, vật liệu và cấu trúc kết nối của lớp vỏ bảo vệ được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, từ đó giúp giảm số lượng khiếm khuyết trên wafer và giúp báo cáo về tỷ lệ sản phẩm tốt được chính xác hơn.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình in ấn
Quy trình in ấn phụ thuộc rất nhiều vào việc kiểm soát nhiệt độ. Lớp vỏ bảo vệ này giúp duy trì nhiệt độ ổn định từ bóng đèn, loại bỏ các điểm nóng, đồng thời ngăn chặn các chất phụ phẩm từ quá trình sản xuất tiếp xúc với bóng đèn. Nhờ đó, cùng một mức nhiệt độ vẫn có thể được sử dụng để nung wafer. Kết quả là giảm thiểu số lần phải làm lại sản phẩm, giảm lượng phế liệu, và tránh được những sự cố bất ngờ trong quá trình sản xuất. Ngoài ra, chúng ta cũng không lãng phí năng lượng, vì nhiệt độ vẫn được duy trì ở mức cần thiết. Điều này giúp kéo dài tuổi thọ của bóng đèn và giúp chúng ta dự đoán được thời điểm thay thế bóng đèn một cách chính xác, tránh phải làm việc vào ban đêm.
Những điều cần lưu ý
Việc lắp đặt lớp vỏ bảo vệ khá đơn giản, nhưng việc căn chỉnh lại rất quan trọng. Lớp vỏ bảo vệ必须 được lắp đặt một cách chính xác, không được có bất kỳ sai lệch nào; ngay cả một chút sai lệch nhỏ cũng có thể gây ra những sai lệch trong quá trình nung. Dù khoảng thời gian hoạt động của lớp vỏ bảo vệ khá lớn, nhưng nó không thể chịu được sự tiếp xúc trực tiếp với dung môi trong quá trình vệ sinh. Hãy tuân thủ các quy trình vệ sinh khô được khuyến nghị và thực hiện các công tác bảo trì định kỳ, như vậy bạn mới có thể duy trì được hiệu suất hoạt động tốt của lớp vỏ bảo vệ và đảm bảo môi trường làm việc sạch sẽ.