Tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không?
Hãy thừa nhận rằng: các lò sấy kiểu truyền thống đã không còn phù hợp nữa. Với xu hướng ưu tiên năng lượng xanh và những quy định nghiêm ngặt về việc sản xuất không chứa chì, ngành công nghiệp này đang gặp nhiều trở ngại.
Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng các thiết bị sấy bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không. Thay vì cố gắng làm nóng không khí xung quanh để làm nóng wafer, tia hồng ngoại có thể tác động trực tiếp lên bề mặt wafer. Đây là phương pháp hiệu quả hơn nhiều.
Thực tế khi sấy trong môi trường chân không
Trong môi trường chân không, không hề có không khí. Do đó, phương pháp sấy kiểu truyền thống hoàn toàn không thể được áp dụng. Chúng tôi thiết kế các bóng đèn hồng ngoại để hoạt động trong môi trường chân không, nơi mà chỉ có sóng điện từ di chuyển. Lợi ích lớn nhất của phương pháp này là không có không khí nên không có hạt bụi nào có thể bay vào wafer, từ đó tránh được việc wafer bị ô nhiễm.
Ngoài ra, việc yêu cầu sản phẩm không chứa chì khiến chúng ta cần nhiệt độ cao hơn để hoàn thành công việc. Với phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại, chúng ta có thể đạt được nhiệt độ cần thiết chỉ trong vài giây. Chúng ta không cần lãng phí năng lượng để làm nóng toàn bộ căn phòng; chúng ta chỉ cần làm nóng phần cần thiết thôi. Điều này giúp tiết kiệm chi phí điện năng đáng kể.
Những thách thức trong việc chế tạo thiết bị này
Việc chế tạo những thiết bị này không hề đơn giản, không phải chỉ cần cắm dây vào ổ cắm là xong. Chúng tôi sử dụng thủy tinh thạch anh có độ tinh khiết cao và các sợi dây tóc đặc biệt. Tại sao ư? Bởi vì trong môi trường chân không, các vật liệu có thể giải phóng khí ra ngoài. Nếu bóng đèn bị rò rỉ hóa chất vào buồng chân không, wafer sẽ bị hư hỏng.
Chúng tôi cũng sử dụng các vật liệu chống thấm chuyên dụng để đảm bảo rằng buồng chân không luôn kín khít.
Tuy nhiên, có một nhược điểm: vì không có không khí để dẫn nhiệt ra khỏi bóng đèn, nên nhiệt độ của bóng đèn sẽ cao hơn rất nhiều so với trong môi trường bình thường. Điều này đòi hỏi chúng ta phải thiết kế các bộ tản nhiệt sao cho phù hợp, nếu không, các bộ phận chống thấm sẽ bị hư hỏng nhanh chóng.
Ý nghĩa của việc chuyển sang phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại
Nếu bạn vẫn sử dụng phương pháp sấy thông thường, bạn chắc hẳn biết rằng chúng chiếm rất nhiều diện tích và cần nhiều chất làm khô có chứa dung môi. Việc chuyển sang phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại sẽ giúp giảm diện tích cần thiết, giảm tiếng ồn, và tiết kiệm chi phí điện năng. Đây thực sự là cách duy nhất để đạt được mục tiêu giảm khí thải mà vẫn giữ được tốc độ sản xuất. Bạn vẫn có thể đạt được tốc độ mong muốn, mà không phải lo lắng về vấn đề môi trường.