用于冲洗的防水红外灯

如何让晶圆清洗灯发挥出更高的加热效果？ 如果您曾使用过用于晶圆清洗阶段的防水红外灯，那么您一定明白其中的不便之处。您不仅要给晶圆表面加热，还要与试图让一切冷却下来的清洗液作斗争。 真正的问题在于能量泄漏。过多的热量会渗入机器的机壳中，而无法作用于晶圆上。这就是为什么我们采用镀金反射器的原因。 为何...