如何让晶圆清洗灯发挥出更高的加热效果？
如果您曾使用过用于晶圆清洗阶段的防水红外灯，那么您一定明白其中的不便之处。您不仅要给晶圆表面加热，还要与试图让一切冷却下来的清洗液作斗争。
真正的问题在于能量泄漏。过多的热量会渗入机器的机壳中，而无法作用于晶圆上。这就是为什么我们采用镀金反射器的原因。
为何选择黄金？
想象一下，普通的铝制反射器就像一个有漏洞的水桶——它会吸收太多的红外辐射。而黄金则不同，它就像一面高效的镜子，能够将光线准确反射到晶圆上。这样一来，每消耗一瓦特的能量，都能真正用于加热晶圆。
防水型灯具的缺点
这类灯具虽然经过特殊处理，能够承受潮湿环境，但当大量能量被集中到一小块区域内时，温度就会迅速上升。因此，必须确保冷却系统能够有效散发热量。如果无法及时散热，金属就会膨胀，从而导致焦点偏移，进而影响加热效果。
需要注意的几点
虽然黄金能提升加热效率，但它对污染非常敏感。哪怕是极薄的化学残留物或灰尘，也会降低其反射率。这样一来，晶圆的温度就会立刻下降。解决办法很简单：定期进行清洁，避免灰尘堆积。
最后，如果您打算将这些灯具替换到旧设备上，请务必检查电源供应情况。由于能量密度非常高，所以电压控制必须十分精确。否则，灯丝很容易被烧毁。