AFM 原子力显微镜 加热器

在光刻生产线上，如果AFM加热器的工作状态不稳定，那么不仅会给测量带来困难，还会影响热控制效果，导致晶圆变成废品。我们设计的AFM加热器完全符合工艺工程师的需求：能够保持探针处的温度稳定且可重复，同时不会对洁净室环境造成干扰。 从技术上来说，最重要的是能够实现精确的温度控制。该加热器能够将晶圆表面...