超纯水加热灯

在光刻车间里，软烘烤过程中的0.5°C温度变化就足以让潜在的缺陷嵌入光阻层中。而如果硬烘烤过程的温度分布不均匀，那么不仅会浪费时间，还会导致整批产品报废。因此，加热元件必须能够持续稳定地工作，无论是在不同的生产批次中，还是在不同时间内。 至关重要的因素 我们设计的超纯水加热灯基于可控的短波红外辐射...