用于光刻机的石英玻璃防护罩

在光刻工厂中，光刻胶的烘烤效果是无可争议的——其精度以纳米来衡量。哪怕温度只有0.5°C的偏差，都可能影响关键尺寸的控制，进而导致大量晶圆报废。因此，光刻灯上会配有石英玻璃保护罩，以此在温度偏差出现之前就将其消除。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们选择高纯度石英作为保护罩的材料，因为它能够在短...