碳纳米管制备加热器

在300毫米的加工线中，光刻胶烘烤过程中哪怕只有0.5摄氏度的温度偏差，都可能导致关键尺寸出现误差，进而让整批产品无法使用。因此，我们设计了碳纳米管加热器，以确保在每次加工过程中，温度都能保持在理想范围内，不会出现任何偏差。 关键所在 该加热器采用碳纳米管作为加热元件，因此响应速度快且稳定性高。这...