Pourquoi nous remplaçons la convection par le chauffage à rayonnement infrarouge dans les fours de salle propre
Si vous avez déjà passé du temps dans une usine de semi-conducteurs, vous connaissez les défis à surmonter. Il est nécessaire de contrôler précisément la température, mais il ne faut surtout pas que la moindre poussière gâche toute une série de wafers.
Pendant longtemps, nous avons utilisé des fours à convection traditionnels. Mais voilà le problème : chauffer tout un volume d’air juste pour réchauffer un petit substrat, c’est du gaspillage de temps et d’énergie.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes de chauffage à rayonnement infrarouge. Au lieu d’attendre que l’air se réchauffe, les rayonnements infrarouges atteignent directement le wafer. C’est plus rapide, plus efficace… et c’est aussi plus logique.
Réduire les pertes d’énergie
Pensez à un four standard : vous consacrez une grande partie de votre énergie à chauffer les murs et l’espace vide à l’intérieur. C’est inefficace.
Nous utilisons des émetteurs à ondes courtes et moyennes, car ils ciblent directement les matériaux que vous traitez. Vous n’avez pas affaire à la température ambiante ; vous ne chauffez que la partie concernée. Lorsque l’usine fonctionne 24/7, ces économies d’énergie s’additionnent. C’est un moyen simple de réduire son empreinte carbone sans sacrifier la productivité.
Maintenir la propreté
Dans une salle propre, « suffisant » n’est pas une option. Il ne faut pas que les lampes se détachent ou libèrent des gaz nocifs dans l’air.
Nous utilisons des lampes en quartz pour éviter cela. Elles ne libèrent aucun gaz. De plus, elles produisent beaucoup de chaleur en très peu d’espace. Cela permet de fabriquer des fours de plus petite taille. Comme le dira tout gestionnaire d’usine, moins d’espace à maintenir stérile, c’est moins de travail à effectuer.
Les problèmes potentiels (et comment les résoudre)
Vous ne pouvez pas simplement remplacer vos anciens chauffages par des lampes infrarouges. Ces dernières génèrent beaucoup de chaleur. Si vous ne dimensionnez pas correctement les systèmes de refroidissement, vous risquez de rencontrer des problèmes. Nous avons déjà vu cela arriver : des charges thermiques trop élevées peuvent endommager le châssis du four ou déclencher tous les alarms thermiques de l’usine, si la ventilation ne fonctionne pas correctement.
Et le matériel n’est qu’une partie du problème. Il vous faut également un système de contrôle intelligent. Nous associons nos chauffages à des régulateurs PID et des pyromètres, afin d’éviter que la température ne dépasse les limites souhaitées. Ainsi, on évite les dommages aux composants sensibles. Moins de pièces endommagées, c’est un patron heureux et une usine plus écologique.