ウェーハ脱気用赤外線ヒーター

製造現場では、わずか0.5度の温度変動でも、フォトレジストの均一性が崩れてしまいます。その結果、生産ラインが停止したり、歩留まりが低下したりします。私たちは、このような温度変動が起こる前にそれを防ぐために、ウェーハの脱ガス用の赤外線ヒーターを開発しました。 重要な点 これらのヒーターは、チャック全...