化学物質を使用する清掃エリアでは、安全を確保することが不可欠です。正直言って、一般的な赤外線ランプは、化学物質が存在する場所では危険すぎます。可燃性の蒸気が漂っている状況では、わずかな火花や高温部分だけで、作業が大混乱に陥りかねません。これは非常に大きなリスクです。 そのため、私たちは従来の構造の...

300mmウェハを扱う際、フォトレジストの焼成中に0.5度ほどの温度変動があれば、重要な寸法精度が狂い、大量のウェハが廃棄されてしまいます。そこで、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。これにより、工程の各段階で温度が安定して維持され、何の問題も起こりません。 内部で重要と...