AFM 原子間力顕微鏡 用ヒーター

リソグラフィーの現場において、安定しないまたは急激な温度変動をするAFMヒーターは、単に測定上の問題だけではありません。それによって熱管理が乱れ、ウェーハが廃棄処分されてしまいます。私たちは、プロセスエンジニアが実際に必要とするように、安定した温度制御が可能で、再現性の高いヒーターを開発しました。...