AFM(원자력현미경) 히터

리소그래피 공정에서, 안정적이지 않거나 불규칙한 온도를 보이는 AFM 히터는 단순히 측정상의 문제만을 야기하는 것이 아닙니다. 이는 열 관리를 어렵게 만들고, 웨이퍼를 폐기물로 전락시킵니다. 저희는 프로세스 엔지니어들이 실제로 필요로 하는 방식으로 AFM 히터를 설계...