Ngăn chặn tình trạng ozone phá hủy phòng sạch loại 100
Bạn có bao giờ gặp tình trạng cảnh báo về lượng ozone tăng cao mà không rõ nguyên nhân không? Đó thật sự là một cơn ác mộng.
Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại thông thường đều gây ra vấn đề: chúng kích thích phản ứng hóa học trong không khí, tạo ra ozone ($\text{O}_3$). Trong môi trường sạch loại 100, điều này thật sự là một thảm họa. Ozone có thể phá hủy các chất polyme nhạy cảm và ảnh hưởng đến quá trình pha loãng chất bán dẫn. Về cơ bản, ozone là một chất ô nhiễm vô hình, có thể phá hủy những nỗ lực của bạn.
Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn điều này. Bằng cách sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao và lọc bỏ các bước sóng cụ thể, chúng tôi vẫn giữ được nhiệt lượng cần thiết, nhưng lại loại bỏ được lượng ozone.
Nguyên lý khoa học khá đơn giản thôi.
Ozone được tạo ra khi bức xạ UV có bước sóng ngắn (dưới 240nm) tác động vào các phân tử oxy. Để ngăn chặn phản ứng này, chúng tôi thiết kế các bóng đèn sao cho hoạt động trong dải bước sóng hồng ngoại trung bình đến dài. Chúng tôi sử dụng ống thạch anh như một lớp bảo vệ, giúp ngăn chặn hoàn toàn bức xạ UV. Bạn vẫn có thể nhận được nhiệt lượng cần thiết để làm khô hoặc xử lý vật liệu, nhưng không còn lượng ozone gây hại nữa.
Tất cả đều phụ thuộc vào chất liệu.
Chúng tôi sử dụng thạch anh silicat với hàm lượng tạp chất gần như bằng không. Tại sao vậy? Vì nếu sử dụng bóng đèn giá rẻ, chúng có thể giải phóng khí độc ra ngoài khi hoạt động ở nhiệt độ cao. Nếu bạn đang vận hành một dây chuyền sản xuất sạch, bạn không thể chấp nhận việc có các hạt bụi bám trên vỏ bóng đèn. Để khắc phục điều này, chúng tôi gia công thạch anh một cách kỹ lưỡng, loại bỏ những vết nứt nhỏ trên bề mặt, giúp mọi thứ luôn sạch sẽ.
Một lưu ý về thiết kế: Các bóng đèn này có kích thước nhỏ, vì vậy chúng có thể dễ dàng được lắp đặt vào các bo mạch hiện có. Chúng tạo ra nhiều nhiệt lượng trong một không gian nhỏ. Do đó, bạn cần đảm bảo rằng quạt làm mát hoạt động hiệu quả. Nếu dòng khí quá yếu, bóng đèn sẽ bị quá nhiệt và hỏng.
Sử dụng chúng trong thực tế:
Những bóng đèn này có thể thay thế cho các bóng đèn hồng ngoại thông thường, dù bạn đang xử lý các tấm wafer hay khử trùng thiết bị y tế. Bạn vẫn có thể đạt được tốc độ xử lý nhanh như trước, nhưng các cảm biến phát hiện ozone sẽ không còn hoạt động nữa.
Chúng tôi thiết kế những bóng đèn này để chúng có thể hoạt động liên tục 24/7. Chỉ cần một điều: hãy đảm bảo điện áp ổn định. Những dao động điện áp sẽ làm hỏng bóng đèn ngay lập tức. Nếu điện áp ổn định, các bóng đèn sẽ hoạt động tốt.