Trong quy trình nung, một sự thay đổi nhiệt độ nhỏ chỉ khoảng nửa độ cũng có thể làm suy giảm độ đồng đều của lớp chất bảo vệ bề mặt wafer. Điều này khiến quy trình sản xuất bị gián đoạn, và tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn sẽ giảm xuống. Chúng tôi đã thiết kế các máy sưởi bằng tia hồng ngoại để ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ này ngay từ đầu.
Điều quan trọng cần lưu ý
Chúng tôi thiết kế các máy sưởi này sao cho độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Các máy sưởi này có khả năng kiểm soát nhiệt độ một cách nhanh chóng, giúp tránh việc nhiệt độ vượt quá mức cho phép. Các bộ phát tia hồng ngoại sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn để truyền năng lượng một cách nhanh chóng và hiệu quả. Ngoài ra, buồng xử lý được thiết kế để đạt tiêu chuẩn phòng sạch cấp độ 1–100, giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi trong quá trình nung và xử lý khí. Độ lặp lại của nhiệt độ luôn ở mức cao, giúp đảm bảo rằng các thông số quan trọng trong quy trình nung không bị thay đổi ngay cả khi nhiệt độ môi trường hoặc thành phần của vật liệu thay đổi.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn
Trong quy trình in ấn, sự ổn định về nhiệt độ giúp đảm bảo quy trình nung diễn ra một cách hiệu quả, từ đó kiểm soát chính xác độ dày của lớp chất bảo vệ bề mặt wafer. Việc phản ứng nhanh của tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian nung, từ đó giảm tổng thời gian sản xuất. Ngoài ra, việc sử dụng năng lượng một cách hiệu quả giúp giảm chi phí sản xuất. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động 24/7, với khoảng thời gian bảo trì dễ dự đoán, giúp tránh gián đoạn trong quy trình sản xuất.
Những điều bạn cần lưu ý khi sử dụng
Các máy sưởi này có thể được tích hợp một cách dễ dàng, nhưng chúng đòi hỏi điện áp ổn định và hệ thống làm mát phù hợp với công suất hoạt động của chúng. Bạn cần có thời gian để điều chỉnh các thông số liên quan đến quy trình nung. Một khi mọi thứ đã được điều chỉnh đúng cách, quy trình nung sẽ diễn ra một cách ổn định, ngay cả khi số lượng sản phẩm gia tăng.