Lò sưởi hồng ngoại dùng để loại bỏ khí trong wafer

Trong quy trình nung, một sự thay đổi nhiệt độ nhỏ chỉ khoảng nửa độ cũng có thể làm suy giảm độ đồng đều của lớp chất bảo vệ bề mặt wafer. Điều này...