Làm thế nào để tăng hiệu quả sưởi ấm từ các bóng đèn dùng trong quy trình rửa wafer
Nếu bạn từng làm việc với các bóng đèn hồng ngoại chống nước trong quy trình rửa wafer, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ những khó khăn mà chúng mang lại. Bạn không chỉ cần làm nóng bề mặt wafer, mà còn phải đối phó với chất lỏng dùng để rửa wafer – chất lỏng này có tác dụng làm mát mọi thứ xung quanh.
Vấn đề thực sự nằm ở việc năng lượng bị tổn thất. Quá nhiều nhiệt lượng bị hấp thụ vào thân máy thay vì được truyền vào wafer. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng.
Tại sao lại chọn vàng?
Hãy tưởng tượng một tấm phản xạ bằng nhôm thông thường giống như một cái xô bị rò rỉ. Nó hấp thụ quá nhiều bức xạ hồng ngoại. Nhưng vàng thì khác. Nó hoạt động như một tấm gương cao cấp, giúp truyền nhiệt một cách hiệu quả.
Thay vì để ánh sáng tỏa ra mọi hướng, lớp vàng sẽ đẩy các photon đi thẳng về phía wafer. Điều này giúp đảm bảo rằng mọi watt năng lượng đều được sử dụng một cách hiệu quả.
Những khó khăn khi sử dụng các bóng đèn chống nước
Các bóng đèn này được thiết kế để hoạt động trong môi trường ẩm ướt. Các chi tiết kín được thiết kế để ngăn chất lỏng không làm hỏng các điện cực hay làm hỏng bo mạch điện.
Nhưng vấn đề là: khi năng lượng được tập trung vào một chùm sáng nhỏ, nhiệt độ sẽ tăng lên rất nhanh. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt này. Nếu không, kim loại sẽ giãn nở, và điểm tập trung của chùm sáng sẽ thay đổi. Khi đó, việc sưởi ấm wafer sẽ không còn hiệu quả nữa.
Một số điều cần lưu ý
Vàng giúp tăng hiệu quả truyền nhiệt, nhưng nó cũng khá nhạy cảm. Nó không thích bị bẩn. Ngay cả một lớp bụi nhỏ trên bề mặt vàng cũng có thể làm giảm khả năng phản xạ của nó. Bạn sẽ nhận thấy nhiệt độ của wafer giảm xuống ngay lập tức. Giải pháp rất đơn giản: hãy duy trì lịch trình vệ sinh định kỳ. Đừng để bụi tích tụ lại.
Một mẹo nữa nếu bạn muốn thay thế các bóng đèn này vào hệ thống cũ: hãy kiểm tra kỹ nguồn điện cung cấp. Vì mật độ năng lượng cao, nên việc điều chỉnh điện áp cần được thực hiện một cách chính xác. Nếu điện áp không ổn định, các sợi dây tóc của bóng đèn sẽ bị hư hỏng nhanh hơn dự kiến.