无臭氧红外灯

如何防止臭氧破坏你的100级洁净室 有没有过这样的经历：臭氧报警器无缘无故地响起？那可真是糟糕透顶。 大多数普通的红外灯都会引发令人头疼的问题——它们会在空气中引发化学反应，从而产生臭氧（$\text{O}_3$）。在100级洁净室中，这无疑是一场灾难。臭氧会腐蚀敏感的聚合物，还会影响半导体的掺杂...