电阻器用溶剂蒸发加热器

在光刻工艺中，所谓的“软烘烤”并非简单的预热步骤，而是一个将光阻固定到位的关键环节——它能够去除溶剂，同时确定后续工艺过程中所需维持的温度条件。如果加热器无法正常工作，那么就会出现厚度不均匀、边缘瑕疵以及曝光参数偏差等问题。这些问题的后果就是需要重新加工，产生大量废品，从而降低生产效率。 关键在于...