晶圆脱气红外线加热器

在制造车间里，哪怕温度出现半度的波动，都可能破坏光刻胶的均匀性。这样一来，生产流程就会停滞，良率也会下降。为此，我们设计了专门的红外加热器，以便在温度出现波动之前就将其控制住。 关键在于稳定性 我们设计的这些加热器能够确保整个加热区域内温度保持在±0.1℃的稳定范围内，同时具备快速升温功能，从而避...