Přestaňte ztrácet čas: Proč je infračervené ohřevání lepší než ohřev pomocí forced airu u destiček
Pokud jste někdy strávili čas v výrobní hale na výrobu polovodičů, víte, jak frustrující je čekání. V tomto procesu dochází k velkému posunu od používání horkého vzduchu k preciznímu infračervenému ohřevu.
Vše se vlastně svodí na to, jak se teplo dostává k povrchu destičky.
Ohřev pomocí forced airu je v podstatě konvekční trouba – musíte ohřát každý kubický centimetr vzduchu v komoře, než začne destička cítit teplo. Infračervené záření je jiné – jedná se o záření, které působí přímo na povrch destičky.
Problém „mrtvého času“
Vzduch je opravdu špatný pro přenos tepla. Když spoléháte na konvekci, musíte čekat, než se vzduch ohřeje, a potom opět čekat, než se to teplo dostane do křemíku. Je to prostě ztráta času.
Infračervené senzory a emitery tento problém odstraní – energie se přenáší rychlostí světla. Můžete teplotu zvýšit nebo snížit během sekund. Když denně zpracováváte tisíce destiček, úspora 30 sekund v procesu ohřevu není jen malým výhodou – je to obrovský nárůst vaší hodinnové kapacity.
Skutečné měření teploty
Používáme infračervené senzory k sledování povrchu destičky v reálném čase.
Vzpomeňte si na termokopuly – ty musí dosáhnout až na povrch destičky, což může vést k její kontaminaci. Infračervené senzory se s povrchem vůbec nenarývají – můžete okamžitě zjistit teplotu z určité vzdálenosti.
To zlepšuje celý kontrolní proces. Pokud senzor detekuje chladné místo, infračervená lampa se okamžitě upraví. Nepřihodí se ten problém s air systémy, kdy topidlo pokračuje v ohřevu, protože měří teplotu vzduchu, nikoli skutečné teploty destičky.
Nevýhody
Infračervené záření však není magie – je orientované. Pokud něco zakrývá destičku, nebo pokud je lampa mírně nakloněná, dojde k nerovnoměrnému ohřevu. Zde nemůžete prostě foukat vzduch a doufat v to nejlepší. Musíte pečlivě plánovat umístění lamp a senzorů, abyste zajistili rovnoměrný ohřev celé destičky.
Vyžaduje to trochu více plánování, ale rychlost toho stojí za to.