In der Fertigungsstraße legen die Schritte zur Erhitzung des Fotoleits durch den Ofen das notwendige Temperaturniveau fest. Eine Abweichung von nur 2°C beim Weich- oder Hartbacken reicht bereits aus, um kritische Dimensionen zu verändern und Probleme zu verursachen. Es ist daher notwendig, dass die Wärme schnell zugeführt wird, konstant bleibt und keine Staubpartikel hinterlässt.
Was wirklich wichtig ist Wir bauen unsere Infrarotheizungen aus kurzwelligen Halogenelementen her, die in hochreinem Quarz eingebettet sind. Die Reaktionszeit liegt unter 200 ms – dadurch stellt sich die gewünschte Temperatur nach dem Öffnen/Schließen der Tür schnell ein. In der beheizten Zone beträgt die Homogenität ±0,1°C; die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C über 5.000 Stunden hinweg. Der Energieverbrauch liegt dabei unter 5%. Die Geometrie des Filaments sowie die Anordnung der Reflektoren sorgen dafür, dass die Energie genau dort ankommt, wo sie benötigt wird – dadurch wird verhindert, dass die umliegende Hardware unnötige Wärme aufnimmt.
Warum diese Heizungen in der Produktion funktionieren In den Lithografieeinheiten sowie in den Modulen für das Auftragen und Erhitzen des Fotoleits sorgen diese Heizungen dafür, dass die Temperatur genau eingehalten wird. Dadurch wird die Rauheit der Konturlinien sowie die Gesamtwirkung verbessert. Bei der Verpackung von Halbleitern unterstützen sie eine konstante Aushärtung des Klebstoffs sowie einen stabilen Prozess beim Umformen der Chips. Die Konstruktion dieser Heizungen ist außerdem kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100: Es kommt kaum zu Ausgasungen, und die Konstruktion verhindert die Entstehung von Staubpartikeln. Dadurch werden kürzere Zykluszeiten, geringerer Energieverbrauch sowie weniger Austausch der Lampen erreicht – was wiederum zu einer stabileren Betriebsleistung und planbaren Wartungsintervallen führt.
Praktische Details, die dazu führen können, dass die Heizungen nicht richtig funktionieren Die Montagetoleranzen sowie die optische Ausrichtung müssen sehr präzise sein. Wenn die Position der Lampe nicht korrekt ist, kann die Homogenität bis zu 0,3°C abweichen. Der Reflektor muss sauber gehalten werden, und die Kühlströme an der Basis der Lampe müssen richtig eingestellt sein – beides hat direkten Einfluss auf die Langzeitstabilität. Diese Heizungen funktionieren am besten mit regulierten Stromquellen mit niedrigen Schwankungen. Beim ersten Einschalten kommt es zu einem etwas höheren Kurzschlusstrom – daher sollte die Stromversorgung gut abgestimmt werden.