Im Bereich der Lithografie ist die „weiche Behandlung“ bei hohen Temperaturen keine Art Vorgewärmung. Es handelt sich dabei vielmehr um einen Schritt, bei dem der Fotolack an seinem Platz fixiert wird – dadurch wird das Lösungsmittel entfernt und das thermische Gleichgewicht gewährleistet. Wenn der Heizer seine Aufgabe nicht erfüllt, kommt es zu ungleichmäßigen Dicken des Fotolacks, zu Problemen an den Rändern sowie zu Abweichungen bei der Belichtung. Das führt zu zusätzlichen Arbeiten, Ausschuss und einem geringeren Ertrag.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben den Heizer für die Verdunstung des Lösungsmittels so konstruiert, dass er kontrollierte Infrarotenergie abgibt – diese Energie wird direkt auf den Fotolack abgegeben, ohne dass die Rückseite des Wafer beschädigt wird. Auf der Oberfläche des Heizers halten wir die Temperatur auf einem Niveau von ±0,1°C ein – dadurch bleibt die Genauigkeit von Lauf zu Lauf konstant. Die heiße Zone ist isoliert, damit keine Wärme an andere Bereiche übertragen wird und die Chemikalien unbeeinträchtigt bleiben.
Die Eigenschaften des Reinraums werden durch geeignete Materialien gewährleistet – diese entsprechen den Anforderungen der Klasse 1–100. Zudem wird durch eine partiikelsichere Gestaltung verhindert, dass Schmutz auf den Wafer gelangt. Der Heizer arbeitet 24/7 mit stabiler Leistung – die Geräte haben bereits mehr als 5.000 Stunden im Betrieb verbracht, ohne dass es zu einer Intensitätsabweichung von mehr als 5% kam.
Warum das in der Produktion wichtig ist
In der Produktion führt dies zu stabilen Abmessungen und weniger Abweichungen. Mit einer solch präzisen Temperaturregelung kann man die Zeit der Behandlung verkürzen, ohne das Ergebnis zu gefährden. Zudem wird weniger Energie verbraucht, da die Wärme gezielt eingesetzt wird.
Die Eigenschaften des Fotolacks bleiben über verschiedene Chargen hinweg konstant – dadurch werden Randeffekte vermieden und die Genauigkeit der Muster gewährleistet. Das bedeutet weniger Nachbearbeitung, geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien sowie eine bessere Planbarkeit der Produktionsprozesse.
Einige Hinweise zur Installation
Bei der Installation müssen die thermischen und mechanischen Anforderungen berücksichtigt werden. Der Heizer funktioniert nur dann richtig, wenn die Zieloberfläche flach, sauber und ausgerichtet ist – unpassende Halterungen oder ungleicher Kontakt führen zu Unregelmäßigkeiten. Es ist ratsam, eine kurze Vorgewärmungsphase einzuplanen, damit ein thermisches Gleichgewicht erreicht wird. Achten Sie außerdem darauf, dass die Menge des Lösungsmittels im vorgesehenen Bereich liegt.
Planen Sie regelmäßige Kalibrierungen, damit die Genauigkeit von ±0,1°C gewährleistet bleibt. Präzision hält sich nicht von selbst auf.