Deje de calentar las paredes: una forma mejor de secar los componentes en el laboratorio
Si ha pasado tiempo trabajando con equipos de secado para semiconductores, seguramente conoce el problema que representan las “paredes calientes”. Cuando se utilizan calefactores convencionales que emiten calor en todas direcciones, las paredes interiores del equipo funcionan como una especie de esponja gigante que absorbe el calor.
Es un verdadero problema: los operadores tienen que preocuparse por posibles quemaduras, y además hay que estar constantemente alerta para evitar que ese exceso de calor dañe las piezas internas del equipo. Es un desperdicio de energía y también representa un riesgo para la seguridad.
La solución es bastante sencilla: deje de calentar todo y comience a utilizar luz infrarroja direccional.
Cómo funciona esto en la práctica
Imagínese un calentador convencional: emite calor en un ángulo de 360 grados. En una cámara de secado pequeña, la mayor parte de ese calor no llega al wafer, sino que simplemente impacta contra la estructura del equipo.
Nosotros hacemos las cosas de manera diferente. Utilizamos lámparas de luz infrarroja de onda corta, con reflectores recubiertos de oro. En lugar de un calor disperso, obtenemos un haz de luz dirigido directamente hacia el sustrato. El resultado es que el calor va exactamente donde debe ir. Las paredes permanecen frías, ya que no sirven como disipadores de calor.
Seguridad y riesgos
Dado que el calor está concentrado, la superficie exterior del equipo no se calienta excesivamente. Por lo tanto, no es necesario utilizar grandes sistemas de refrigeración o materiales aislantes, lo que hace que el equipo sea más seguro para tocar. Pero hay algo importante: hay que ser preciso.
Dado que estas lámparas emiten mucha energía, el flujo de calor en el punto focal es extremo. Si el wafer está desplazado incluso solo unos pocos milímetros, se producirá un sobrecalentamiento localizado. No se puede simplemente “configurar todo y olvidarse”. El sistema PLC debe estar ajustado perfectamente para controlar el ciclo de trabajo; de lo contrario, se corre el riesgo de dañar el sustrato.
Por qué esto es importante para su laboratorio
Cuando deja de calentar las paredes, ocurren varias cosas positivas. Primero, el sistema de HVAC no tiene que trabajar tanto para mantener la habitación en condiciones adecuadas. Además, los tiempos de preparación se reducen significativamente. Ya no hay necesidad de esperar a que toda la cámara se caliente antes de poder comenzar el proceso.
Así, obtiene un proceso más rápido, un equipo más fresco y mucho menos estrés.