چرا ما از روش خشککردن با امواج مادون قرمز برای فرآوری ویفرها استفاده میکنیم؟
باید صادق باشیم: هیچ کس دوست ندارد با مواد حلالی که برای خشککردن استفاده میشوند، یا آن کاتالیزورهای شیمیایی سختکار، سروکار داشته باشد. در دنیای امروز، «دوستدار محیط زیست» بودن صرفاً یک شعار تبلیغاتی نیست؛ بلکه یک الزام اساسی برای ساخت ابزارهای مورد استفاده در فرآیندهای تولید است. به همین دلیل از روش خشککردن با امواج مادون قرمز استفاده میکنیم. این روش از تابش الکترومغناطیسی برای انجام کار استفاده میکند؛ یعنی باعث پلیمریزاسیون یا تبخیر مواد میشود، بدون ایجاد هیچ آلودگی اضافی.
چگونه این روش عمل میکند؟
فکر کنید به یک فر معمولی؛ این فر ابتدا باید هوا را گرم کند، که این کار آهسته و ناکارآمد است. اما امواج مادون قرمز متفاوت هستند؛ انرژی مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود. این مزیت بزرگی است، زیرا ما میتوانیم از سیستمهای هوایی پیچیده استفاده نکنیم. شما میدانید که این سیستمها همیشه دچار نشت ذرات میشوند یا نیاز به تعویض مداوم فیلترهای گرانقیمت دارند. ما فقط بر روی باندهای جذب مشخص روی سطح ویفر تمرکز میکنیم؛ گرما دقیقاً در جایی که لازم است، تولید میشود. این کار باعث صرفهجویی زیادی در مصرف انرژی میشود.
تمیز کردن فرآیند
روشهای قدیمی خشککردن معمولاً باعث ایجاد آلایندههای شیمیایی زیادی میشوند. اما با استفاده از امواج مادون قرمز، میتوانیم از استفاده از این مواد شیمیایی خودداری کنیم. از آنجایی که گرما به سرعت به سطح ویفر میرسد، میتوانیم از رزینهای بدون هالوژن استفاده کنیم؛ این رزینها با نور UV یا گرما خشک میشوند. این روش روشی بسیار تمیزتر برای فرآوری ویفرها است. ویفر خشک میشود و هیچ گاز سمیای در محیط کار تولید نمیشود. این روش ایمنتر نیز هست.
مشکلات موجود
البته این روش کاملاً بدون مشکل نیست. لامپهای مادون قرمز با توان بالا، گرمای زیادی تولید میکنند. این موضوع برای سریعتر کردن فرآیند خوب است، اما مدیریت این گرما کار دشواری است. اگر صفحات خنککننده شما کافی نباشند، مشکلاتی پیش خواهد آمد؛ مثلاً ویفر میتواند تغییر شکل دهد یا نقاط گرمی روی سطح آن ایجاد شود. باید مراقب باشید؛ باید تعادلی بین توان لامپ و حرارت ویفر برقرار شود، تا لبههای ویفر آسیب نبینند. ما این سیستمها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سیستمهای قدیمی شوند. متوجه خواهید شد که فضای مورد نیاز کمتر است و هزینههای برق نیز کاهش خواهد یافت. فقط مطمئن شوید که حسگرها به درستی تنظیم شدهاند؛ زیرا روند خشککردن بسیار سریع اتفاق میافتد.