लिथोग्राफी प्रक्रिया में, जल्द ही समझ में आ जाता है कि तापमान कोई छोटी-मोटी बात नहीं है… बल्कि यही प्रक्रिया का मुख्य हिस्सा है। यदि तापमान में थोड़ा भी बदलाव हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। यदि उच्च तापमान पर ही प्रक्रिया की जाए, तो फोटोरेजिस्ट पर दाग एवं अन्य समस्याएँ उत्पन्न हो जाती हैं… जिससे उत्पादन प्रक्रिया में बाधाएँ आ जाती हैं। कोटर/डेवलपर उपकरणों में, ऊष्मा संबंधी प्रदर्शन कोई ऐड-ऑन विशेषता नहीं है… बल्कि यही इन उपकरणों का मुख्य कार्य है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने अपने कोटर/डेवलपर उपकरणों में इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग किया है… ताकि वे उन्नत फोटोरेजिस्टों की ऊष्मा-आवश्यकताओं के अनुरूप काम कर सकें। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्व, ऊष्मा को सीधे फोटोरेजिस्ट में ही पहुँचाते हैं… इससे वेफर पर तापमान समान रहता है… और हजारों चक्रों के बाद भी तापमान स्थिर रहता है।
यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है… और इसकी संरचना ऐसी है कि वेफर पर कोई कण न जम सकें। जीरो गैस उत्सर्जन एवं सील्ड हीटर बॉडी के कारण, फोटोरेजिस्ट पर कोई दूषण नहीं आता। व्यावहारिक रूप से, यह सिस्टम 24/7 काम कर सकता है… और ऊर्जा खपत भी कम रहती है… क्योंकि हीटर हर बार जल्दी ही ठंडा हो जाता है।
यहाँ यह सिस्टम क्यों कारगर है?
उत्पादन प्रक्रिया में, तापमान को निर्धारित मानकों के अनुसार ही रखना आवश्यक है… न कि कमरे के तापमान के अनुसार। इस इन्फ्रारेड हीटर के कारण, तापमान स्थिर रहता है… इससे उत्पादन प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती। इससे उत्पादन समय में कमी आती है… और रखरखाव में भी कमी आती है… क्योंकि हीटर ठंडा ही रहता है… और ऊर्जा सीधे फोटोरेजिस्ट में ही जाती है।
जानने योग्य बातें…
यह हीटर अधिकांश कोटर/डेवलपर उपकरणों में इस्तेमाल किया जा सकता है… लेकिन इसका आकार एवं माउंटिंग विधि उपकरण के मॉडल के अनुसार अलग-अलग होती है। इसे लगाने से पहले मैकेनिकल क्लीयरेंस एवं कूलेंट पाइपलाइनों की जाँच जरूर करें… एवं इंस्टॉलेशन के बाद थोड़ा समय लेकर इसकी जाँच करें।
यदि आप नम वातावरण में काम कर रहे हैं, तो कनेक्टरों की सीलिंग पर ध्यान दें… हम विद्युत संबंधी इंटरफेस को सूखा एवं स्थिर रखने हेतु आवश्यक दिशानिर्देश भी देते हैं।