फैब फ्लोर पर, “बेकिंग” चरण ही वह महत्वपूर्ण चरण है जिस पर उत्पादन की गुणवत्ता निर्भर है। सॉफ्ट बेकिंग या हार्ड बेकिंग के दौरान 2°C का अंतर ही उत्पादन की गुणवत्ता को प्रभावित कर सकता है; इसके अलावा, गर्मी देने के दौरान उत्पन्न होने वाले कण भी उत्पादन प्रक्रिया को प्रभावित कर सकते हैं। हमने वेफरों को गर्म करने हेतु ऐसी व्यवस्था बनाई है, ताकि ऐसी अस्थिरताओं को दूर किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम वेफरों पर तापमान संबंधी एकरूपता को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं; इससे हर वेफर को समान तापीय वातावरण मिलता है। यह प्रणाली क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकती है, और गर्मी देने के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता। तापमान में पुनरावृत्ति ±0.2°C के भीतर ही रहती है; इससे लिथोग्राफी प्रक्रिया सुचारू रूप से चलती है। इस डिज़ाइन में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों का उपयोग किया गया है, जिससे तेज़ एवं नियंत्रित गति से गर्मी दी जा सकती है। हॉट ज़ोन में गैसों का उत्सर्जन कम होता है, इसलिए फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता बनी रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या लाभ है?
“सॉफ्ट बेकिंग” से विलायकों को हटाया जाता है, जबकि “हार्ड बेकिंग” से फिल्मों की चिपकने की क्षमता एवं एचिंग प्रतिरोधकता बढ़ती है। इन दोनों प्रक्रियाओं पर सख्त नियंत्रण से उत्पादन में कम त्रुटियाँ होती हैं, एवं पहली ही बार में उत्पादन दक्षता बढ़ जाती है। इससे उत्पादन प्रक्रिया तेज़ हो जाती है, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं रखरखाव संबंधी समस्याएँ भी कम हो जाती हैं। हमारी मशीनें 5,000+ घंटों तक कार्य कर सकती हैं, एवं उत्पादन में 5% से भी कम गिरावट आती है। इससे उत्पादन में एकरूपता बनी रहती है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है।
कुछ व्यावहारिक बातें…
इस प्रणाली को स्थापित करने हेतु, आपको अपने कोटर/ट्रैक चैंबर की ज्यामिति के अनुसार तापमान संबंधी सेटिंग्स को अनुकूलित करना होगा, साथ ही एक्जॉस्ट एवं कूलेंट सिस्टमों की सुसंगतता भी सुनिश्चित करनी होगी। रैंप रेट एवं अन्य सेटिंग्स को सही करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। एक बार सब कुछ सही हो जाने के बाद, यह प्रणाली 24/7 कार्य कर सकती है; लेकिन क्लीनरूम में हवा के प्रवाह को स्थिर रखना आवश्यक है – क्योंकि हवा के प्रवाह में परिवर्तन से वेफर के किनारों पर छोटी-मोटी त्रुटियाँ हो सकती हैं।