クラス100の環境を維持するためには、どうすればいいのでしょうか？
もしクラス100の環境で作業を行っているなら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんのわずかなほこりや金属の破片でも、ウェーハの歩留まりが大幅に低下してしまいます。本当にストレスです。ほとんどの加熱要素は、高温になるとガスを放出したり、粒子を飛ばしたりするため、問題を引き起こします。
だからこそ、私たちはIRランプとして高純度の融結石英を使用しているのです。
なぜ石英が適しているのか
合成融結石英の特徴は、極端な高温下でも壊れないことです。安価なガラスや金属製の加熱器は高温になると劣化しますが、石英は安定した状態を保ちます。ひび割れたり、粒子が飛び出したりすることもありません。また、化学的にも不活性なため、空気や基板と反応する心配もありません。つまり、不純物が混入する心配がないのです。単純に、自分の役目を果たし、邪魔にならないのです。
適切な熱量の調整
私たちは短波放射を利用しています。目的は、必要な場所に正確に熱を届けることです。周囲の空気を温めないようにするのです。これにより、空調システムの負担が大幅に軽減されます。
必要なワット数や長さを選べば、目的の熱密度を得ることができます。応答速度も非常に速いです。
ただし、注意点もあります。高ワット数を使用すると、強烈な熱が発生します。冷却風が不十分な場合、熱衝撃のリスクがあります。また、取り付けブラケットも注意が必要です。もし非放出型の材料で作られていなければ、再び汚染が発生する可能性があります。
簡単な設置方法
私たちは精密にフィットするコネクタを使用して、電気的なシールをしっかりと行います。これにより、アークが発生するのを防ぎ、オゾンが環境に影響を与えるのを防ぎます。
最良の点は、これらが簡単に交換できることです。ランプが壊れても、石英部分はそのまま残ります。破片もほこりも出ず、清掃の必要もありません。そのまま交換して、作業を続けるだけです。