クラス100の環境を維持するためには、どうすればいいのでしょうか？ もしクラス100の環境で作業を行っているなら、その悩みはよくわかるでしょう。ほんのわずかなほこりや金属の破片でも、ウェーハの歩留まりが大幅に低下してしまいます。本当にストレスです。ほとんどの加熱要素は、高温になるとガスを放出したり...

壁を加熱するのをやめてみましょう：より効率的な乾燥方法 半導体乾燥装置を扱ったことがある人なら、いわゆる「熱い壁」の問題を知っているはずです。通常の対流式ヒーターや、全方位に熱を放出するヒーターを使用すると、機械の内壁はまるで巨大なスポンジのように機能してしまいます。 これは大変な問題です。作業員...

スマートファブの熱管理を適切に行うために：なぜIRが最適なのか もし今、次世代のスマートファブを構築しようとしているのであれば、一旦立ち止まって、熱の管理方法を見直してみてください。もし依然として従来の対流式の方法を使っているのであれば、それは負け戦です。 私たちがIRシステムを採用する理由は単純...

化学物質を使用する清掃エリアでは、安全を確保することが不可欠です。正直言って、一般的な赤外線ランプは、化学物質が存在する場所では危険すぎます。可燃性の蒸気が漂っている状況では、わずかな火花や高温部分だけで、作業が大混乱に陥りかねません。これは非常に大きなリスクです。 そのため、私たちは従来の構造の...

スマートファブの加熱システムを最適化する スマートファブを構築する際、従来の加熱方式ではもはや十分でないことに気づくでしょう。時間がかかって反応しない道具を使って、高度な自動化された生産ラインを動かすことはできません。だからこそ、私たちは赤外線システムを利用するのです。赤外線システムは高速で、ソフ...

部屋全体を暖めるのをやめて、製品自体を直接温めましょう。 もし近代的な製造施設を構築しようとしているのであれば、全体を暖めるという方法がどれほど面倒か、お分かりでしょう。古式の対流型オーブンは、速度が遅く、使いにくいです。スマートな施設を構築しようとすると、そうした装置は他の技術とうまく連携しませ...

是非を言えば 私たちが製造するのは、本物の赤外線加熱ランプです。これらは、あらゆる工場で使われている高価な輸入ブランドの製品と同等の性能を持っています。 同じ純粋なスペクトラム、同じ強力な熱量。ただし、高額な費用はかかりません。 これは中途半端な製品ではありません。工場での厳しい使用条件に耐えられ...

ファブ内では、フォトレジストのベイク性能は議論の余地がなく、ナノメートル単位で測定されます。0.5℃のずれだけでも、重要な寸法制御に影響を与え、それによって多くのウェーハが損失してしまいます。そのため、ファブ内のランプには石英ガラス製のシールドが装着されており、そうしたズレが発生する前に防ぐのです...