レジスト用溶剤蒸発加熱器

リソグラフィープロセスにおいて、この「ソフトベイク」という工程は単なるウォームアップではありません。これは、フォトレジストを所定の位置に固定するための重要な工程であり、溶解剤を除去し、以降の工程で使われる熱条件を決定するものです。もしヒーターの性能が不十分だと、ウェハの厚みが不均一になったり、端に...