なぜ私たちは真空式赤外線硬化装置を採用するのか？ 正直に言って、昔ながらの対流式オーブンではもはや十分ではありません。グリーンエネルギーへの移行や無鉛製造に関する厳格な規制の影響で、業界は行き詰まっています。 そこで役立つのが、真空環境に適した赤外線ヒーターです。 対流式オーブンのように空気を温めてウェーハを温めるのではなく、赤外線は直接対象物を温めます。これは放射熱であり、基板上に直接当たり、素早く加熱されます。
真空状態での加熱の現実
真空状態で作業するということは、空気がないということです。つまり、通常のオーブンのような対流方式は基本的に不可能です。 私たちが設計する赤外線ランプは、電磁波だけが動いている高真空チャンバー内で使用されます。大きな利点は、空気がないため、浮遊粒子が存在しないということです。ウェーハに何か汚染物質が付着して全体の品質を損なう心配もありません。 また、無鉛化の要求により、より高い温度が必要になります。しかし、赤外線を使えば、数秒でその温度に到達します。部屋全体を温めるためのエネルギーを無駄にすることはなく、必要な部分だけを温めることができます。これは電力代の節約にもなります。
ハードウェア上の問題点とその解決策
このような装置を作るのは、単純に電球を接続するだけではありません。高純度の石英や特殊なフィラメントが必要です。なぜかというと、真空状態では材料から化学物質が放出される可能性があるからです。もしランプから化学物質が漏れ出してしまったら、ウェーハはダメになってしまいます。 また、チャンバーが密閉されていることを確実にするために、耐真空性の高いシール材も使用されます。 しかし、問題点もあります。空気がないため、ヒーターは通常の部屋での場合よりもずっと高温になります。冷却装置やヒートシンクを正しく調整しなければ、シール材がすぐに壊れてしまいます。
これが工場に与える影響
もし今でも熱風乾燥装置を使っているなら、そのスペースの大きさや、多量の溶剤を使う必要があることをご存知でしょう。 赤外線乾燥装置に切り替えることで、工場のスペースを大幅に節約できます。また、騒音も少なく、電力代も節約できます。 これこそが、生産ラインの速度を落とさずにゼロ排出目標を達成する唯一の方法です。必要な速度を得ながら、環境への負担を減らすことができます。