ウェーハ加熱時の安全距離

ツールを加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう ウェーハを加熱するときは、エネルギーが基板にだけ届くようにしなければなりません。他の場所にエネルギーが漏れ出してはいけません。 一般的な赤外線ランプの問題点は、エネルギーがあらゆる方向に散らばってしまうことです。これでは整理整頓が難しく、やがて...