クラス100のクリーンルームで、汚れを発生させずに熱を扱う方法 スマートセンサーを梱包する際は、非常に微妙なバランスが求められます。十分な熱が必要ですが、ワークピースにほんの少しのほこりでも付着してはいけません。クラス100の環境では、一般的な加熱素子はまるで時限爆弾のようです。それらは剥がれ落ち...

MEMSウエハの乾燥：なぜ赤外線を使用するのか MEMSセンサーを扱う際には、湿気を一切残さないことが不可欠です。しかし、強すぎる加熱を行うと、繊細な微細構造が壊れてしまいます。 長い間、私たちは単に熱風を当てる方法を用いてきました。しかし正直、これは効率が悪いのです。そのため、私たちは赤外線加熱...

時間の無駄をやめよう：ウェーハの加熱において、なぜ赤外線加熱が強制送風より優れているのか もし半導体製造工場で働いたことがあれば、待つという時間のロスがどれほどイライラするかがわかるでしょう。半導体加工では、熱風を使った加熱から、精密な赤外線加熱へと移行しています。 実際、重要なのは、熱がどのよう...

なぜウェーハ処理に赤外線硬化を採用するのか？ 正直に言って、誰も溶剤を使った乾燥処理や、面倒な化学触媒の使用を好みません。私たちの世界では、「環境に優しい」というのは、単なる宣伝文句ではありません。それは、私たちがツールを作る上での重要な要件です。だからこそ、赤外線硬化を利用するのです。赤外線は電...

なぜ水素センサーの製造において、熱風を使うのではなく赤外線を利用するのか？ もし製造現場で働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。センサー層を安定させるためには、温度管理が重要です。長年にわたり、私たちは主に熱風を利用してきました。確かに効果はありますが、速くはありません。 最近では、...