なぜウェーハ処理に赤外線硬化を採用するのか？ 正直に言って、誰も溶剤を使った乾燥処理や、面倒な化学触媒の使用を好みません。私たちの世界では、「環境に優しい」というのは、単なる宣伝文句ではありません。それは、私たちがツールを作る上での重要な要件です。だからこそ、赤外線硬化を利用するのです。赤外線は電磁波を使ってポリマーの重合や蒸発を促進し、余計な汚れを発生させずに処理を行えます。
物理的な原理は？
通常の対流オーブンを考えてみてください。まず空気を加熱しなければならず、これは時間がかかり効率が悪いです。しかし赤外線は違います。エネルギーが直接ウェーハの表面に届きます。 これは大きな利点です。なぜなら、巨大な送風システムを使わなくて済むからです。常に粒子を飛散させたり、高価なフィルターの交換が必要になったりするようなシステムです。私たちはコーティングの吸収帯を狙って、熱を正確に必要な場所にだけ与えます。これにより、大量のエネルギーが節約されます。
処理の簡素化
従来の硬化処理では、VOCを含む溶剤や鉛を含む安定剤を使用する必要がありました。しかし赤外線を使えば、そうした化学物質を使わなくて済みます。 熱が即座に作用するため、UVや熱で硬化するハロゲンフリーの樹脂を使用できます。これにより、よりクリーンな処理が可能になります。ウェーハが乾燥し、クリーンルーム内に有害なガスが排出されることもありません。これは安全であると言えます。
難しい点
もちろん、全てが理想的というわけではありません。高出力の赤外線ランプは強力です。これはウェーハをより速く処理するのに役立ちますが、多くの熱を管理しなければなりません。 冷却板が十分でない場合、問題が発生します。ウェーハが変形したり、熱の集中による問題が起こったりします。注意が必要です。ランプの出力とウェーハの熱容量のバランスを取る必要があります。そうしないと、ウェーハの端が焼けてしまいます。 私たちは、従来の対流式装置の代わりに、このシステムを使えるように設計しました。占有面積が小さくなり、電気代も削減されます。ただし、センサーの調整をしっかり行う必要があります。なぜなら、温度上昇が非常に速いからです。本当に速いのです。